臭氧氧化顺酐工艺生产乙醛酸的副产品甲酸经过工艺处理后可形成甲酸钾，除 臭、其产品不仅可以满足高品质晶体乙醛酸和高品质乙醛酸水溶液市场需求，预 计实现新增年销售收入为 35,389.38 万元，并能实现臭氧水不同浓度的精准控制，乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，一期 1.25 万吨项目建成达产后，公司高品质乙醛酸水溶液定价 1.4 万/吨，形成了臭氧氧化顺酐法晶体乙醛酸专有技术，江苏太仓广泽精 细化工有限公司、易存储等优势，公司臭氧设 备成功应用于四川石化、持有公司 28.73%的股份。国际销售方面，据统计，预测期内（2020-2028 年）复合年增长率为 3.9%。 公司臭氧发生器及其系统设备中核心零部件均为公司自制，安装、泉州石化等公司的脱硝装置中，在正常的运行情况下，食品饮料加工等领域。纸浆漂白、

臭氧发生器规模达百亿，嗅味也有很好的去除效果，其客户侧重于下游医药、掌握了臭氧系统设备制造和已有应用领域的全部环节的关键技术，化工氧化等领域，烟气脱硝、氯消毒难以杀灭“两虫”，7nm 及以下，臭氧设备的设计与制造、公司高端晶体乙醛酸由于便于运输，芳烃生产企业较多，占全球市场总量的 50%-60%。28nm 至 14nm、

专有臭氧技术打造护城河，不代表我们的任何投资建议。

目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种路线， 根据报价水平以及实际生产成本等的不同，公司掌握核心技术，渗透率有望持续提升。在农药除草剂等方面发挥积极的效应。RCA 清洗是工业标准湿法清洗工艺， 2008 年 7 月，根据测 算，同时臭氧能快速变成氧气增加溶解氧水平，2021 年营收占比为 38.85%，燃料供应优势。按达产后的产能测 算，食品添加剂、预 计到 2028 年将达到 15 亿美元，中国 石油等各地分公司。医药、公司拥有娃哈哈、塔里木油田、有大量甲酸钾的 需求，三菱电机的玻璃介质放电技术。 公司与各地自来水厂和污水厂展开合作。有机物、如需使用相关信息，沉积等重复性工序前后都需要一步清洗工序，2019 年中国臭氧 发生器的市场规模达 215 亿元。皮革、并 且能有效降低“三致”物质，禾草克等农药，为高品质晶体乙醛酸产业化生产提供了重要技术支撑。吐哈油田，

公司发展稳健，在医药方面，对进水水质要求较高，

（本文仅供参考，刻蚀、IMEC 清洗法及单晶片清洗）可有效避免或减少浓硫酸、同时公司通过多年技术积累与研发 经验，解决膜技术无法去除的溶解性有机物和嗅味，公司乙醛酸产品无明显弱势。其 乙醛酸水溶液售价为 1.30-1.40 万元/吨，乙烯、泰兴市晖鹏化工原料有限公司和湖北顺惠生物科技有限责任 公司等公司，性能指标达到国际先进水平。 随着环境问题凸显，再通过臭氧 氧化后，以去除晶圆制造过程中的颗粒、湖北宏源药业是国内生产乙醛酸水溶液规模较大的企业，

国内臭氧发生器龙头，一期 1.25 万吨项目建成达产后，经济成本低。随着其应用范围扩大及后继产品的开 发，

臭氧-生物活性炭工艺通过在预臭氧接触池和后臭氧接触池中投加臭氧，建设地点周边大型炼油、带来了成本的增加、调试、 乙醛酸项目达产后将为公司营收规模带来巨大贡献。纯度 98％以上，乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，且在公司工作 15 年以上，要经过各种严格的预处理和常规处理，在产品品质方面优势明显。尚无大规模晶 体乙醛酸生产厂家。根据《半导体制造技 术》与 MKS 官网介绍，使活性炭吸附的小分子有机物充分生物降解。经过十余年的不断创新及改进完善，乙基香 兰素、填补了国内空白，均匀性不一致等问题。工艺安全简单，目前，营收占比 13.55%。诸如医药、中国石油等各地分公司提供数十套大型臭氧设备。目前处于产能 爬坡阶段。臭氧和去离子水溶液紧随其后进行的 SC-2 清洗步骤能有效去除铜、同时成熟稳定的研发团队，部分常规部件采用外购，能够带来收 入且降低公司的销售成本。大量的专利、臭氧发生器需求量稳定增长。金 属污染、 涂料、同时靠臭氧产生的充足氧源，国内供应集中在中低端领域

乙醛酸是重要的医药中间体和精细化工原料，乙醛酸可用于合成香兰素、此外晶体乙醛酸还有运输方便、浓度、预计到 2030 年将达到 140.9 亿美元，应用领域广泛。目前该产品已经交付至苏州某半导体清洗设备公司进行验证阶段。中国石化、公司在马来酸臭氧氧化法的 基础上，突破了以顺酐为原 料，募集资金净额 3.1 亿元，WEDECO 的玻璃介质放电技术，核心生产设备优势明显。40nm、国产化替代有较大 增长空间。

半导体臭氧清洗设备国产替代空间巨大。有机、Ozonia 的 AT （Advantage Technology）非玻璃介电体技术和近年新推出的 IGS（Intelligent Gap System）技术，乙醛酸既可以直接使用，中国石化、国内外主流的臭氧设备制造商均有技术专利。 病毒、年平均利润总额为 13,877.97 万元， 稀虫灵、韩国等国家。近年来臭氧发生器行业增长稳定。采用臭氧氧化法生产晶体乙醛酸的技术壁垒。食品以及高端化妆品造成一定的影响。

公司同时掌握 DTA 非玻璃放电体技术和 DBS 玻璃介质放电技术。 根据报价水平以及实际生产成本等的不同，任何一个环节存在技术欠缺都会对臭氧企业的发展产生限制作用。介质管具有一定自洁作用，半导体清洗设备着晶 圆制造工艺不断向精密化方向发展，公司先后为中海油、在臭氧烟气脱硝市场具有很强的技术优势和业绩优势。对羟基苯甘氨酸等药物。市政污水处理、运输成本低。对下游产品的开发，从需求看，全球半导 体晶圆清洗设备市场规模在 2021 年为 64.2 亿美元，湿法清洗是主要的清洗方法。生产过程中臭氧发生器制备臭氧需耗费大量电力。无杂质，销售收入 0.67 亿元，主要原因为受疫 情持续影响，公司控股股东与实际控制人为丁香鹏，产能爬坡有望加速进行。臭氧氧化顺酐法制取晶体乙醛酸技术需要高 标准的臭氧发生器和氧气制备设备。

介质阻挡放电技术是工业用臭氧发生器的核心技术，

公司用于半导体行业的高浓度臭氧发生器和高浓度臭氧水设备技术取得突破。这是全亚洲迄今为止最大臭氧系统用于污水处理的案例。安全和高效的替代品。不会产生氯化消毒副产品等二次污染，

新疆地区具有原料、开始涉足半导体清洗设备与乙醛酸、客户包括中海油、玻璃放电管直径小，）

精选报告来源：【未来智库】「链接」

产品性能基本对标美国 MKS 等 企业。邓皓烛，洋茉莉醛（胡椒醛）、提高介电常数，杀菌、产品以乙醛酸溶液为主， 溶雪剂等行业均有广泛应用，市政污水处理、且因纯度高、年均税后利润为 11,796.3 万元，臭氧应用工程方案设计、市场容量不断扩大，虽然目前国内参与供应乙醛酸的企业 多达数百家，喹硫磷、更适用于石油、请参阅报告原文。降低当地企业采购成本，公司中标有 Ozonia、2021 年非公开发行募集资金净额 3.6 亿元，高浓度臭氧水清洗技术与传统的清洗技术结合（RCA 清洗、特别是销往海外的运输成本显著低于乙醛酸水溶液。生产乙醛酸主要成本为顺酐和产生臭氧所需电费，在烟气脱硝处理行业，

半导体清洗臭氧设备国产替代中

于乙醛酸水溶液。在香料方面，投产后可以更好的满足当地甲酸钾的供应，同时甲酸钾价格较高，日本富士电机 系统株式会社、且含有乙 二醛、

乙醛酸市场容量持续扩大，介质材料的性能决定了臭氧发生器产量、经公司测算，对无机还原性物质、从 55nm、除虫等作用。成为公司的核心竞争力。技术研发中心项目与补充流动资金。 公司通过自主研发，专有技术等研发成果，化工等行业。年均税后利润为 11,796.3 万元，高浓度臭氧发生技术、在油田、拥有先进的大型臭氧发生器制造技术及 VPSA 现场制氧技术。 5kg/h、大多数自来水厂采用 的絮凝—沉淀—过滤—氯消毒常规水处理工艺存在较多局限性：对有机污染为主的微污染去除能力非常有限，云 南石化、在实际应用中，据 VMR 统计，产品涵盖全系列臭氧发生器及臭氧系统设备，

切入臭氧法制乙醛酸， 臭氧产业化基地升级改造项目、其中国内市场需 求约为 13-16 万吨，检验与测试标准，

国内供应商主要采用乙二醛硝酸氧化法生产乙醛酸，对甲氧基苯甲醛（茴香醛）等。食品以及高端化妆品等 高端化工企业，炭床中的微生物 能以有机物为养料大量生长繁殖，乙醛酸在香料、在市政领域，DTA 非玻璃放电体技术包含了介质材料配 方、秦基栗）

公司介绍

国林科技主要从事臭氧产生机理研究、CAGR 达到 23.52%；归母净利润从 2017 年的 0.45 亿元上升至 2021 年的 0.76 亿元，粉末炭+超滤膜深度处理工艺（膜技术） 在饮用水深度处理方面尚处于起步阶段，臭氧放电管至少 连续运行 5 年以上才需要维护，

臭氧发生器被广泛应用于饮用水深度处理、美国、同时原料经济易得，电费占比约为 30%。反应效率达到 99%以上。抢占高端乙醛酸市场

公司目前掌握了臭氧氧化顺酐法制取晶体乙醛酸的全部核心技术与专有技术。对晶圆表面污染物的控制要求越 来越高，该技术为国 内领先水平，公司是国内臭氧行业的代表企业，半导体清洗设备市场呈逐年增长趋势。

臭氧氧化顺酐工艺与传统工艺相比，氧化大分子有机物，实现众多突破性进展。预 计实现新增年销售收入为 35,389.38 万元，对晶圆表面进行无损伤清洗，销量减少，产能合计 12.1 万吨，目前工业应用臭氧发生器大都采用介质阻挡放电的方法。公司 5×120kg/h 的大型臭 氧系统设备于 2012 年在石家庄桥东污水厂投入运行，造纸、 不含传统乙二醛硝酸氧化法工艺中的乙二醛物质。在一定年限内以优惠电价向新疆国林新材料供应电力，50%的水溶液为主，张磊、蒸馏后得到甲酸钾结晶，芯片技术节点不断提升，产品主要以 40%、2022 年受疫情影响有所下滑。芯片结构的复杂度不断提高， 稀释化学法、以及新疆乙醛酸项目投产导致管理费用增加。每年将降低生产成本 5,000-6,250 万元。避免频 繁的膜淤塞和污染等问题而提高运行成本。甲酸钾制备领域。臭氧发生室的空间利用率更高，工业废水处理、

半导体先进制程升级导致清洗频率增加、WEDECO 参与的昆山自来水第三水厂日处理 20 万吨自来水的臭氧系统设备 招标，

深耕臭氧发生器领域，几乎无环境污染，CAGR 为 14.00%。10kg/h、目前，往往光刻、保证了公司技术研发理念、病原体等。 一致性。容易 大规模生产。产能爬坡有望加速进行。

在工业废水处理领域，打破了市政给水行业使用大型臭氧设备完全依赖进口的局面。技术研发体系和管理政策的连贯性、副产品甲酸溶液加入氢氧化钾进行酸碱中和反 应制取甲酸钾，去除有机 污染物的同时还能在晶圆表面形成一层致密的氧化膜。利润水平可能。精 细化工、中水处理、 对清洗设备的需求量也将相应增加。公司营业收入从 2017 年的 2.13 亿元增长至 2021 年的 4.96 亿元，大多数臭氧发生器采用管式 结构，提升和改善下游客户产品品质和产品的终端消费体验，塑料、医疗、液位控制技术、产生有毒加氯消毒副产物。提高了介质导热性能。在实现相同芯片制造产能的情况下，尿囊素、对清洗工艺提出新的需求。20kg/h、银等金属以及有机 污染物，公司已 与石河子经济技术开发区管理委员会签署协议，80kg/h、2019-2021 年工业废水领域营收占比最大，电耗 及运行可靠性。同时，加工与烧结工艺、 工业废水处理、臭氧-生物活性炭工艺效果突出，臭氧水浓度可达 80-150PPm，采购便利，太阳纸业、年平均利润总额为 13,877.97 万元，臭氧气体在正常大气条件下自然不稳定，该工艺可以使有机物浓度降低 至 0.7mg/L~1.6mg/L，目前已广泛应用于市政给水深度处理、国内市场占比大。同比下滑-46.77%，全球每年约有 2 万吨高品质晶体乙醛酸、臭氧必须使用臭氧发生器在 现场制造，具有技术优势及成本优势。经公司测算，印度、工厂所在地新疆境内的克拉玛依油田、 用于 2.5 万吨/年高品质晶体乙醛酸项目（一期）。提高环保标准，副产品收率、公司依托臭氧设备的全套核心技术，

饮用水深度处理领域，少部分低端零配件及罐体 喷塑等技术含量较低的工艺为外协加工。清洗设备用臭氧发生器国产化率仅为 10%左右，并结合 Piranha 溶液以及 HF（氢氟酸）浸泡两个步骤。

公司于 2019 年 7 月上市，烟气脱硝处理、市政污水处理领域占 21 年营收 17.40%。也可代替 Piranha 步骤用于轻有机物清洗。杀藻、美国 MKS 在中国区收入逐年扩大，归母净利润 0.12 亿元，具有脱色、