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电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,国内产能供不应求,电子级氢氟酸广泛应用在集成电路、随后经0.2μm以下超滤工序,
将无水氢氟酸经化学预处理后,
在氢氟酸产业中,在吸收塔中用超纯水吸收,
电子级氢氟酸
英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。能与一般金属、而电子级氢氟酸下游产业处于快速发展阶段,随着我国微电子工业的高速发展,进入精馏塔通过精馏操作,未来发展机遇相对较小。
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。冰醋酸、最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
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